ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質譜儀，主要用途是進行化學元素分析檢測，特別是對金屬元素分析最擅長，也能分析B、P、As等非金屬元素。他和ICP-OES、AAS是化學元素分析的常用的三種儀器，ICPMS的檢測限最低，可以達到PPT（10的負12次方）級。
ICP-MS所用 電離源是感應耦合 等離子體（ICP），它與 原子發射光譜儀所用的ICP 是一樣的，其主體是一個由三層石英套管組成的炬管，炬管上端繞有負載線圈，三層管從裏到外分別通載氣，輔助氣和冷卻氣，負載線圈由高頻電源耦合供電，產生垂直於線圈平面的磁場。如果通過高頻裝置使氬氣電離，則氬離子和電子在 電磁場作用下又會與其它氬原子碰撞產生更多的離子和電子，形成 渦流。強大的電流產生高溫，瞬間使 氬氣形成溫度可達10000k的等離子焰炬。樣品由 載氣帶入等離子體焰炬會發生蒸發、分解、激發和 電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量大約爲1 L每min。冷卻氣以切線方向引入外管，產生螺旋形氣流，使負載線圈處外管的內壁得到冷卻，冷卻氣流量爲10-15 L每min。
