大氣完成自淨，其最基礎的過程就是稀釋，這個過程最主要的動力就是空氣的對流，也就是風，對流越強擴散越快，這一過程與地形密切相關，例如城市地貌一般就不利於汙染物的擴散。另一方面是大氣中的沉降作用，大氣中的塵粒可以碰撞或者沉降在地面、屋面或被植被截留吸附，這些作用主要與汙染物自身性質相關，小粒徑顆粒物較難通過這一過程除去。由於大氣中微生物含量無法與水體和土壤相比，因此生物作用較弱，最主要的化學反應來源於光化學反應。而靠大氣的稀釋、擴散、氧化等物理化學作用，能使進入大氣的汙染物質逐漸消失，就是大氣的自淨能力。
